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USC干式超聲波除塵設備

CRF-USC 0200

1.設備運作原理環保,自帶真空腔，可自行回收處理后的懸浮粒子。

2.能源損耗少，與同階段的設備對比極大程度的減輕了設備的使用成本。

3.進行超聲清洗工作清洗頭無需與產品進行接觸，減少了對產品的損傷。

4.干式超聲清洗對產品處理一步到位，無需再進行二次附帶處理。

5.設備運行是對車間空氣的循環使用，不對車間空氣產生影響。

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設備詳細數據

設備名稱	干式超聲清洗設備
設備型號	CRF-USC 0200(數字為有效處理寬度mm)
工作電壓	三相380V 50HZ
工作環境	干燥無塵車間
除塵有效寬幅	100-700mm
吸風口前端風壓	-3 ~ 0 K pa
吸風口后端風壓	-3 ~ 0 K pa
出風口前端風壓	0 ~ 37 K pa
出風口后端風壓	0 ~ 37 K pa
出風口溫度	≤45℃
風機外殼溫度	≤45℃
變頻器設定頻率	0~ 60HZ
變頻器實時頻率	0~ 60HZ

設備原理

清洗頭里有一個超聲波發生腔和兩個真空吸附腔。塵粒在吸附層作用下粘附于平面基板表面，要想去除塵粒，必須克服塵粒的粘附力。通過強力風機，給清洗頭的超聲波發生腔提供 8-16Kpa 的潔凈氣體，氣體通過超聲波發生器產生超聲波，利用超聲波傳播的能量及振動，使塵粒克服平面基板表面的粘附力，以拉升、滾動及滑動三種運動方式(單一或混合）從平面基板表面脫離，使得塵粒從平面基板表面分離出來。清洗頭的真空腔是用來吸附塵粒。當塵粒從平面基板表面分離出來后，利用超聲波的反射將的塵粒帶動起來，運動的塵粒瞬間被清洗頭的真空吸附腔吸走，從而達到清洗平面基板表面塵粒的效果。