開啟真空泵加油口的油塞（內(nèi)六角扳手）；開啟油門上的油塞（注意旋鈕開關(guān)方向）；安全放油，油表面下降，清空泵內(nèi)的油，從加油口注入新油，加入適量超過下限；用六角扳手擰緊油塞。注：替換時請注純純專用油，把泵里原來用過的油請放干凈。員工換油時須戴膠皮手套、口罩。請將排放的廢油妥善處理，并安全處置。泵排氣口與油霧濾清器連接起來，油霧濾清器可除掉超過90%的真空泵排放的油霧，可防止對工作環(huán)境的污染，并可起到消音作用。濾下的油應(yīng)從油槽中排出出本體，否則機油會在濾芯和本體之間積聚，從而造成油霧。
   一、濾芯過濾裝置建議使用三個月更換一次。如果不排出廢氣，檢查濾芯是否堵塞，必要時更換濾芯。電漿為高頻器件，涉及頻率漂移等問題，使用時應(yīng)在2年左右調(diào)整一次，客戶要確定好時間后與我們聯(lián)系，返廠進行校正調(diào)整。為確保真空密封的可靠性，設(shè)備密封在18個月內(nèi)更換一次，此后每隔18個月更換一次。誠峰真空等離子設(shè)備消耗品清單：

  (1)誠峰真空等離子設(shè)備真空腔：真空腔主要分為兩類：1)不銹鋼真空腔；2)石英腔。
   是否比較了誠峰真空等離子設(shè)備和傳統(tǒng)清洗？
   其次，整個處理過程沒有污染。血漿清洗機本身是非常環(huán)保的設(shè)備，不會對環(huán)境造成任何污染，處理過程也不會造成污染。
   接著，處理效率高，可以在線全自動生產(chǎn)。等離子體清洗，只要對樣品表面進行處理，一般在2S內(nèi)即可達到效果。可與原生產(chǎn)線配套，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)省人力成本。處理效果是穩(wěn)定的。等離子體清洗處理效果非常均勻、穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后長期保持效果良好。
   誠峰真空等離子設(shè)備參數(shù)：
   射頻電源功率（RFPower）：600W/13.56MHz。
   (2)誠峰真空等離子設(shè)備真空泵：有多種類型的真空泵，其選用都會根據(jù)用戶真空度、體積要求進行配置。
   作為一種重要材料表面改性方法，真空等離子清洗在許多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。同超聲清洗、UV清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，小型真空等離子清洗機具有以下優(yōu)點：
   先處理溫度較低。加工溫度可低至80℃，溫度在50℃以下，加工溫度較低，可保證樣品表面無熱損傷。