crf等離子清洗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)原理和方法都有哪些呢？
       隨著人們對(duì)等離子體清洗的了解越來(lái)越多，其應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，那crf等離子清洗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)原理和方法都有哪些呢？首先分析一下何為等離子體化學(xué)和物理反應(yīng)。什么是等離子體的化學(xué)反應(yīng)，化學(xué)反應(yīng)中常用的氣體有氫(H2)、氧(O2)、甲烷(CF4)等。這些氣體在電漿中反應(yīng)成高活性自由基，會(huì)進(jìn)一步反應(yīng)材料表面。其反應(yīng)機(jī)制主要是利用等離子清洗機(jī)中的自由基與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。當(dāng)壓力較高時(shí)，更有利于自由基的產(chǎn)生。因此，如果我們想專(zhuān)注于化學(xué)反應(yīng)，我們必須控制更高的壓力來(lái)近反應(yīng)。等離子體的物理反應(yīng)：主要是利用等離子體中的離子進(jìn)行純物理沖擊，去除材料表面的原子或附著在材料表面的原子。由于離子在低壓下的平均自由基較輕，有能量積累，物理沖擊時(shí)離子能量越高，沖擊越多。因此，如果我們想專(zhuān)注于物理反應(yīng)，我們必須控制更多的壓力進(jìn)行反應(yīng)，這樣清潔效果更好。由于半導(dǎo)體和光電材料在未來(lái)的快速增長(zhǎng)，這方面的應(yīng)用需求將越來(lái)越大。維護(hù)保養(yǎng)等離子清洗機(jī)，常言道，假如1個(gè)員工想把工作做好，他必須首先磨利他的工具。1個(gè)好的工具通常可以事半功倍。他還說(shuō)：不管功夫有多高，他都怕菜刀。不管機(jī)器有多好，他都應(yīng)該保養(yǎng)它。所以讓我們分享一些常見(jiàn)的維護(hù)保養(yǎng)事項(xiàng)：

1.定期檢查真空泵油：每月定期檢查真空泵的油位和油純度，觀察油位窗口。當(dāng)油位接近最低紅線刻度時(shí)，將其添加到油紅線上下之間；觀察油的顏色。正常油干凈透明。當(dāng)油渾濁（油顏色為灰褐色或油位窗口模糊）時(shí)，真空泵噪音異常，應(yīng)及時(shí)更換真空油。
2.清潔反應(yīng)腔室：首先，用無(wú)水乙醇(俗稱酒精)擦拭脫脂棉布(不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔觀察玻璃)。其次，腔體導(dǎo)入(氬+氧)或(氮+氧)，用等離子清洗機(jī)清除腔體內(nèi)的殘留物。每月至少工作10分鐘一次。
3.檢查輸氣管道的完整性和真空密封性：定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，應(yīng)徹底清潔反應(yīng)室，避免腔內(nèi)污染物遺漏。定期檢查反應(yīng)腔門(mén)密封條是否松動(dòng)。檢查各管道是否連接緊固、老化。
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