等離子體是由多種粒子組成的復雜體系催化劑大多為吸附了金屬活性組分的多孔介質，當催化劑與等離子體接觸時相互之間會產生一定影響。催化劑的物理化學性能等發(fā)生變化，從而提高催化劑的活性和穩(wěn)定性等離子體的粒子類型和濃度發(fā)生變化促進等離子體化學反應。只有當分子的能量超過活(化)能時，才能發(fā)生化學反應。在傳統(tǒng)化學中，這種能量是通過分子與分子或分子與壁面之間的碰撞進行傳遞的。在等離子體中，一方面，振動能可以通過循序漸進的方式逐漸增加到很低反應能量；另一方面，電子與分子的碰撞能傳遞更多的能量，從而將中性分子變成多種活性組分或將中型粒子電離，新組分主要包括超活性中性粒子、陽離子和陰離子。在常規(guī)化學反應不能產生大量新組分的情況下，等離子體成了一種功能很強大的化學手段，擔負起了催化劑角色。一般情況下，溫度較低的反應或者給定溫度下速率加快的反應都是受到了等離子體的影響。
等離子體化學中一個有趣的發(fā)展方向是將原始的簡單分子合成復雜的分子結構。典型的反應包括：異構化、消(除)原子或小的基團、二聚/聚合以及破壞原始材料等，例如甲烷、水、氮和氧等氣體混合經(jīng)過輝光放電，會得到生命的起源物質——氨基酸。等離子體中存在順反異構化、成環(huán)或開環(huán)反應。除了單分子反應，還可以發(fā)生雙分子反應。
利用等離子體處理技術對常規(guī)浸漬法制備Ni/SrTiO3催化劑進行了改進實驗結果證實形成的金屬團簇與載體之間的作用力明(顯)增強微觀條件下可觀察到團簇的斥力作用使其發(fā)生形變形成扁平的半橢球形金屬顆粒，大大提高了催化劑的金屬分散性，催化劑的活性和穩(wěn)定性也顯著提高。
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